第一章 总则
第1．0．1 条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、
经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求 。
第1．0．2 条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。
第1．0．3 条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。
第1．0．4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件。
第1．0．5条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。
第二章 空气净度等级
第2．0．1条 空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。
空气洁净度等级表2.0.1
| 等级 |
每立方米（每升）空气中≥0.5微米尘粒数 |
每立方米（每升）空气中≥5微米尘粒数 |
| 100级 |
≤35×100(3.5) |
≤250(0.025) |
| 1000级 |
≤35×1000(35) |
≤2500(0.25) |
| 10000级 |
≤35×10000(350) |
≤25000(2.5) |
| 100000级 |
≤35×100000(3500) |
≤250000(25) |
注：对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。当其多次出现时，方可认为该测试数值是可*的。
2．0．2条洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。
第三章 总体设计
第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置
第二节 工艺布置和设计综合协调
第三节 噪声控制
第四节 振动控制
第四章 建筑
第一节 一般规定
第二节 人员净化和物料净化设施
第三节 防火和疏散
第四节 室内装修
第五章 空气净化
第一节 一般规定
第二节 洁净室正压控制
第三节 气流组组织和送风量
第四节 空气净化处理
第五节 采暖通风
第六节 风管和附件
第六章 给水排水
第一节 一般规定
第二节 给水
第三节 排水
第四节 消防设施
第七章 工业气体管道
第一节 一般规定
第7．1．1条工业气体管道的干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢气和氧气管道且明敷，如敷设在技术夹层、技术夹道内时，应采取良好的通风措施。 引入洁净的支管宜明敷。
第7．1．2条高纯气体管道设计，应符合下列要求：
一、根据计算确定管径。
二、管道系统应尽量短。
三、不宜设预留口。
四、不应出现"盲管"等不易吹除的部位。
五、干管不支管上应设置吹除口。
六、在管系统上应设置吹除口。
第7.1．3条穿过洁净室墙壁或楼板的气体管道，应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采取可*的密封措施。
第7．1．4条氢气和氧气管道的末端或最高点宜设放散管。放散管应高出屋脊1米，并应设在防雷保护区内。
第7．1．5条气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体统一计划的要求进行选择。气体终端净化装置应设在*近用气点处。
第7．1．6条气体过滤器应根据生产工艺对气体含尘量的要求进行选择。高纯气体管道应装设高效气体过滤器。
第二节 管道材料、阀门和附件
第7．2．1条根据不同的气体及其纯度和用途，管道材料应按下列规定选用：
一、气体纯度大小或等于99.999%时，应采用不锈钢管。
二、气体纯度大于或等于99.99%时，宜采用不锈钢管、铜管、无缝钢管。
三、气体纯度小于99.99%时，可采用无缝钢管。
四、管道与设备的连接段，宜采用金属管道；如为非金属软管时，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙
烯管、不得采用乳胶管。
第7．2．2条高纯气体管道应采用密封性能好的低门和附件，其材料与管道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、不锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门的填塞料应采用聚四氟乙烯材料。
第7．2．3 高纯气体管道与附件连接的密封垫，应采用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。
第三节 管道连接和清洗
第7．3．1条管道连接应采用焊接。高纯气体管道应采用承插焊。
第7．3．2条管道与设备、阀门的连接处，宜采用法兰、螺纹或其它密封性能优良的连接件。螺纹处宜采用聚四氟乙烯带密封。
第7．3．3条 高纯性气体管道内的内壁、阀门和附件在安装前，应进行清洗、脱脂等预处理。
第四节 安全技术
第7．4．1条 工业气体管道设计的安全技术，应符合下列规定；
一、氢气管道的支管和放散管上，应设置回火防止器。
二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置。
三、各种气体管道应设明显标志。
第7．4．2条洁净室内使用氢气时，宜在室内设置报警装置。
第7．4．3条各种气瓶应集中设置在洁净厂房外，当日用气量不超过一瓶时，气瓶可设置在洁净室内。
洁净地区和污染地区室外大气尘浓度可相差十倍至几十倍，这就造成了高效过滤器使用寿命有的1—2年，而有的却高达10年之久的差别，此外，如果室外环境特别干净，若达到1000级洁净度，末级过滤器可以不采用高效过滤器，而采用中效过滤器或亚高效过滤器，但在污染地区则完全不可能。
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